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    蒸發臺行星鍋是干什么用的?以及它的工作原理

    發布時間:2024-03-29

    蒸發臺行星鍋通常指的是電子束蒸發臺的高效行星鍍鍋裝置,屬于蒸鍍技術領域。其作用是在蒸鍍過程中,通過行星鍋的轉動,使基片能夠均勻地接受蒸發物質的沉積,從而提高蒸鍍的均勻性和質量。

    在半導體制造中,蒸發臺行星鍋的主要作用是將蒸發物質均勻地分布到基材表面。蒸發物質可以是金屬、半導體或其他材料,通過加熱蒸發或電子束蒸發等方式產生蒸汽,然后蒸汽在行星鍋內旋轉,使得基材表面能夠均勻地接觸到蒸發物質,從而形成薄膜。

    蒸發臺行星鍋的工作原理是: 蒸發物質被放置在蒸發源中,通過加熱或電子束轟擊等方式使其蒸發成為蒸汽。蒸發的蒸汽被引入到蒸發臺行星鍋中,并在其中與基片接觸。在蒸發臺行星鍋的轉動下,基片能夠均勻地接受蒸發物質的沉積,從而提高蒸鍍的均勻性和質量。蒸鍍完成后,蒸發物質和剩余的蒸汽被抽走,基片被取出進行后續處理。







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